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加氫型氮氣純化裝置

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工作原理

   若用戶所需氮氣指標(biāo)大于99.99%時,在HTN制氮設(shè)備的基礎(chǔ)上應(yīng)配置純化設(shè)備。經(jīng)變壓吸附(PSA)系統(tǒng)制得的原料氮氣(≤2%的殘氧)與少量氫氣混合后,在填裝有催化劑的反應(yīng)器中殘氧與氫反應(yīng)生成水蒸氣,反應(yīng)方程式為2H2+O2→2H2O+熱,隨后經(jīng)過后冷卻器,使大部分水蒸氣冷凝下來,并經(jīng)過高效水分離器或冷干機除去大部分冷凝水,然后進入吸附式干燥器,使產(chǎn)品氣露點最低達到-70℃,產(chǎn)品氣純度通過分析儀連續(xù)進行在線監(jiān)測。

純化流程示意圖

 

技術(shù)指標(biāo)

  氮氣產(chǎn)量:10~1000Nm3/h

  氮氣純度:≥99.9995%

  露點:-60℃~-70℃

  氧含量:≤5.0ppm

  使用范圍:特別適用需要氮、氫氣,如半導(dǎo)體、熱處理行業(yè),即需要高純氮氣和適量氫氣,能使產(chǎn)品更光亮??筛鶕?jù)客戶要求定制全自動加氫流程及氮氫自動配比混氣設(shè)備。

HTH加氫型氮氣純化裝置參數(shù)表

型號/規(guī)格

處理氣量(Nm3/h)

耗氫量

(Nm3/min)

冷卻水

(t/h)

裝機功率

HTH-10

11

0.22

0.5

0.4

HTH-20

22

0.5

0.6

0.6

HTH-30

33

0.73

0.8

0.8

HTH-40

45

1.0

1.0

1.0

HTH-60

65

1.5

1.1

1.25

HTH-80

88

2.0

1.2

1.35

HTH-100

110

2.2

1.3

1.5

HTH-150

165

3.3

1.4

1.7

HTH-180

190

4.0

1.5

2.2

HTH-200

220

4.5

1.5

2.5

HTH-300

330

6.6

2.1

3.1

HTH-400

450

9.0

2.4

3.7

HTH-500

550

11.0

2.9

4.5

HTH-600

650

13.3

3.2

5.8

HTH-800

880

18.0

3.5

8.0

HTH-1000

1100

22.5

4.8

9.7

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